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クリーン機器


クリーン度について


クリーン度について

現在、慣用的に広く使用されている規格のFED 規格及びクリーン度の世界初の統一規格であるISO14644-1は下記の通りです。

FED-STD-209D

クラス 1 10 100 1,000 10,000 100,000
換気回数 - - 250~400 150 75 20
粒子数(個/cf) 1 10 100 1,000 10,000 100,000
個/m3(換算) 35 353 3,530 35,300 353,000 3,530,000
ISO クラス 相当 3 4 5 6 7 8
参考 - - 液晶・IC
精密工場
病院の手術室 医薬品工場 パソコンの
組立工場
  • 換気回数:ブース内の空気を1時間当たり何回換気しなければならないかという規定です。
  • 粒子数:1立方フィートの空間内に直径0.5 μm以上の粒子が何個まで存在してもよいかという規定です。

ISO-14644-1

クラス 0.1µm 0.2µm 0.3µm 0.5µm 1µm 5µm
ISO 1 10 2
ISO 2 100 24 10 4
ISO 3 1,000 237 102 35 8
ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO 7 3,520,000 83,200 2,930
ISO 8 35,200,000 832,000 29,300
ISO 9 8,320,000 293,000

機種選定方法

機種選定例

幅2m × 奥行き2m × 高さ2m の空間で、クリーン度10,000 を維持したい場合
  1. 空間の容積を計算します。
    2m×2m×2m = 8m3
  2. 1時間当たりの換気回数から必要な空気の量を計算します。
    75 回/h×8m3 = 600m3/h
  3. 1分間当たりの空気の量を計算します。
    600m3/60min = 10m3/min    → 必要風量 10m3/min
型式 OFU-102H-AW OFU-105H-AW OFU-110H-AW OFU-117H-AW
最大風量 2m3 /min 5m3 /min 10m3 /min 17m3/min

機種選定例

→  適応機種:OFU-110H-AW